本书由以下五部分(共15章)组成．1.界面相和表面结构(1-4章)；2.薄膜中的缺陷和扩散(5-7章)；3.薄膜的成核和长大理论(8-9章)；4.金属、半导体、氧化物薄膜的生长和薄膜中的分形现象(10-13章)；5.薄膜的制备和研究方法(14-15章)．